由于當(dāng)從內(nèi)部負(fù)載孔繪圖時(shí),激光光軸未達(dá)到FOUP直接射向操作員,激光繪圖傳感器更安全,涂氮墊片根據(jù)涂層厚度以一定波長(zhǎng)吸收光線,如果傳感器使用具有單個(gè)波長(zhǎng)的激光,光軸可能被完全吸收,導(dǎo)致墊片檢測(cè)錯(cuò)誤,M-D21使用具有一定波長(zhǎng)段的LED光源,可始終成功地檢測(cè)涂氮墊片,根據(jù)反射光線的數(shù)量進(jìn)行的墊片檢測(cè)可能有時(shí)會(huì)由于墊片邊緣的形狀而發(fā)生錯(cuò)誤,M-DW1在受光部分使用2個(gè)分隔的受光二極體,通過(guò)反射光線的位置而不是數(shù)量檢測(cè)墊片,因此,傳感器受墊片厚度或反射光線數(shù)量的影響較小,近來(lái)的趨勢(shì)顯示出玻璃墊片的快速發(fā)展,這些墊片不反射大量光線,因此它們的邊緣檢測(cè)有一定難度,M-DW1不是通過(guò)光線數(shù)量而是通過(guò)光線位置檢測(cè)墊片,因此可忽略光線數(shù)量檢測(cè)玻璃墊片,傳感器在0.5ms以?xún)?nèi)反應(yīng),符合墊片檢測(cè)的高速和高精度需要,傳感器體積為W80.6mm×H18.3mm×D50mm,僅重75g,傳感器電纜可從4個(gè)方向拉出:前.后.左.右,這使得傳感器的安裝更加方便靈活。
具體參數(shù)如下:
M-DW1:中心測(cè)量距離:45mm
檢測(cè)物體:3英寸以上半導(dǎo)體墊片(注1)
檢測(cè)表面:表在具有在受光方向反射光線的側(cè)邊緣(注2)
檢測(cè)角度:12.5±5°
墊片間距:在通常靈敏度下可獨(dú)立檢測(cè)3mm以上間距
適用盒:SEMI標(biāo)準(zhǔn)FOUP盒/打開(kāi)盒
電源電壓:12-24V DC±10%
輸出:NPN輸出/PNP輸出,可通過(guò)輸出轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān)選擇
NPN輸出:NPN開(kāi)路集電極晶體管
PNP輸出:PNP開(kāi)路集電極晶體管
輸出操作:入光時(shí)ON/遮光時(shí)ON,可用開(kāi)關(guān)選擇
反應(yīng)時(shí)間:50μs以下
周?chē)鷾囟?0~+50℃(注意不可結(jié)露),保存時(shí):-10~+70℃
注:1)若是8英寸以下墊片,墊片間距定向扁平或表面情況都可能影響檢測(cè).
2)具有尖利邊緣的上光墊片等,由于其在受光方向不能反射光線,因此
不能被檢測(cè).